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7nm集成电路虚拟现实(VR)实验室
7nm集成电路虚拟现实(VR)实验室
“中兴事件”、“华为事件”相继爆发,中美贸易战旷日持久,集成电路对于国家综合国力的重要性不言而喻。当前集成电路高校教学重视理论,缺少实践机会,与真实集成电路人才的需求脱节。出现这一现象的原因可以归结为三点: ⚫集成电路发展迅速,根据摩尔定律,集成电路的集成度每两年就要翻一番,先进技术层出不穷,而学校还是沿用几年甚至十几年前的理论进行指导,即使有实践环境,也是很多年前的旧设备、旧工艺,与真实的集成电路制造脱节。 ⚫集成电路设备昂贵,相关设施在实验操作过程中(比如扎探针)容易损坏,工艺线要保证无尘和稳定,即使学校组织学生进行企业实践,企业也很难让学生进行真正意义的实践操作。 ⚫由于仪器设备成本高、占用空间大,因此,实训阶段需要的设备数量有限,学生无法做到人手一台设备;同时,实验设备复杂多样,实物实训具有很大的危险性,实验通常也需要很长的时间进行调试,这使得人员与设备的安全性无法保证。 为此,我们开发了7nm集成电路虚拟现实(VR)实验室,包含如下内容: 1.工业级先进集成电路制造设备:如300毫米(12英寸)半自动探针台、光刻机等。 2.工业级先进设备使用过程模拟,包括:装晶圆、扎探针、工艺线操作、封装线操作等操作过程。 3.先进工艺线全流程模拟:学生犹如置身于一个真实的工艺线中。 4.先进封装线全流程模拟:学生犹如置身于一个真实的快封线中。 5.先进测试线全流程模拟:学生犹如置身于一个真实的测试线中。
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