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14nm集成电路工艺教学套件
14nm集成电路工艺教学套件
半导体工艺已经进入7nm FinFET时代,然而相关教学材料(如教科书、课堂讲义和实验设备)却极大地落后于时代步伐,甚至其中一些教学素材仍然在使用20年前的内容。这使得学生所掌握的知识与实际半导体行业要求差距甚远。 微纳电子教学套件(工艺版)是一款基于“虚拟化”教学的创新型产品,适合于高校及其它教育机构,最大限度地减小教学与工业界的差距。涵盖现代半导体的主要单步工艺(清洗、氧化、淀积、光刻、刻蚀、离子注入、扩散和化学机械抛光等),模拟操作单步工艺的方法、材料以及设备参数的设定。涉及MOSFET、FinFET、LDMOS和GaN等多种半导体器件的制造工艺流程,包括制造流程中每步工艺的参数设定等实践操作。并支持工艺版SEK产品与器件版SEK产品的互连(通过BNC接口),实现对完成工艺制造流程器件的电学特性测量。该教学套件拥有人性化的图形交互界面,实验箱集成了可按键操作的液晶显示屏,模拟实际工艺设备的操作面板,强化工艺学习的实践性。微纳电子工艺教学套件(工艺版) 作为一款强大的教学和实验工具,可以应用于如下场景: ⚫半导体工艺教学工具:用于仿真、图形化显示主要半导体单步工艺 ⚫半导体工艺教学辅助演示:用于直观展示典型器件制造工艺流程 ⚫半导体工艺实验教学工具:模拟半导体工艺设备的操作行为,可让学生体验现代半导体工艺制造流程和关键参数设定。
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